2025
08-07
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东微电子重大突破 自研光刻机核心零件通过中芯国际、长鑫存储认证 NEW
快科技8月7日消息，日前，河南东微电子材料有限公司（以下简称"东微电子"）宣布，其自主研发的光刻机用直线电机、光源、光纤、磁座等关键零部件，正式通过中芯国际和长鑫存储严格认证。东微电子表示，这不仅是一次技术突破，更是中国半导体产业链国产化进程中迈出的坚实一步。据了解，2021年12月，国家五部门联合发布的《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录（2021年版）》明确将光刻机用直线电机列为关键“卡脖子”项目，直线电机的制造和生产技术对我国打破国外光...
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